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匀胶机 涂胶机

简要描述:

KW-4T匀胶机 涂胶机用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃 等工艺,制版的表面涂覆,具有转速稳定和启动迅速等优点,保证涂胶厚度的 一致性和均匀性。

KW-4T匀胶机 涂胶机用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃 等工艺,制版的表面涂覆,具有转速稳定和启动迅速等优点,保证涂胶厚度的 一致性和均匀性。

 

技术参数及要求:

基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,最大 100×100mm2方片

转速:250-9000RPM

旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节

转速稳定性:<±1%

旋涂均匀性:<1%

旋涂工艺阶段:6 段

旋涂时间:单步工艺 0-1800s,可根据客户需求调节

整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm

裸机尺寸(长宽高):210mm×280mm×155mm

电机功率:40W

适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

 

KW-4T匀胶机 涂胶机配套无油真空泵参数:

 型号:KW-550A/KW-550T

抽速:1.5 升/秒

抽气速率:>60L/min

功率:320W

噪音:50db

真空度:-700mmHg

重量:7.3Kg

尺寸(长宽高):240mm×160mm×230mm 

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